PVD-Beschichtung, bei der die wachsende Schicht gleichzeitig mit einem Ionenstrahl aus einer separaten Quelle bombardiert wird (z.B. IBAD 'Ion Beam Assisted Deposition' oder 'Dual Ion Beam Assisted Deposition'), vgl. auch Ionenplattieren. Ionenstrahl modifiziert die Schichteigenschaften, z.B. verbes...